Áö¿ë¿ì ±³¼ö·¹®Ã¤Àº ¿¬±¸¿ø, KAIST ÀÓ¼º°© ±³¼ö, ¹Ú³ªÇö·¼ÛÀ±¼º ¿¬±¸¿ø°ú ÀÌ°æ±Õ ¹Ú»ç
ÄÜÅÃÆ®·»Áî Ç¥¸é¿¡ Àû¿ë '³ª³ëÄÚÆà ±â¼ú, Ç×±Õ°ú ³»±¸¼º, ºñµ¶¼º' ÀÔÁõ
ÄÜÅÃÆ®·»Áî Åõ¸í¼º°ú ½Ã·Â ±³Á¤ ±â´É¡¥ '´« °Ç°¿¡ À§ÇØ ³¢Ä¡Áö ¾ÊÀ½' È®ÀÎ
¿¬±¸ÆÀ '¼¼±Õ¼º °¢¸·¿° µî Ä¡¸íÀû Áúȯ ¿¹¹æ¡¥´Ù¾çÇÑ ÀÇ·á±â±â È®Àå Àû¿ë' ±â´ë
³í¹®, ³ª³ë±â¼ú ºÐ¾ß ±¹Á¦ Àú¸í ÇмúÁö 'Small'¿¡ °ÔÀç
[º¸°ÇŸÀÓÁî] ÃÖ±Ù ÄÜÅÃÆ®·»Á ´õ¿í ¾ÈÀüÇÏ°Ô ¿À·¡ Âø¿ëÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï µ½´Â Ç×±Õ ³ª³ëÄÚÆà ±â¼úÀÌ °³¹ßµÆ´Ù.
¿¬¼¼´ëÇб³ ÀÇ°ú´ëÇÐ ¿ëÀμ¼ºê¶õ½ºº´¿ø(º´¿øÀå ±èÀº°æ) ¾È°ú Áö¿ë¿ì ±³¼ö(»çÁø ÁÂ)·¹®Ã¤Àº ¹Ú»çÈÄ¿¬±¸¿ø ¿¬±¸ÆÀÀº ÃÖ±Ù ÄÜÅÃÆ®·»Áî Ç¥¸é¿¡ Àû¿ëÇÏ´Â Åõ¸í ³ª³ëÄÚÆà ±â¼úÀ» °³¹ß, Çâ»óµÈ Ç×±Õ ¼º´É°ú ³»±¸¼º, ºñµ¶¼ºÀ» ÀÔÁõÇس´Ù.
ÀÌ ¿¬±¸´Â ¿ëÀμ¼ºê¶õ½ºº´¿ø ¾È°ú¸¦ ºñ·ÔÇØ Çѱ¹°úÇбâ¼ú¿ø(KAIST) »ý¸íÈÇаøÇаú ÀÓ¼º°© ±³¼ö(»çÁø Áß), ±â´É¼º ¹Ú¸· ¿¬±¸½Ç ¹Ú³ªÇö·¼ÛÀ±¼º ¿¬±¸¿ø°ú ³ª³ëÁ¾ÇÕ±â¼ú¿ø ÀÌ°æ±Õ ¹Ú»ç(»çÁø ¿ì)ÀÇ °øµ¿ ¿¬±¸·Î ¼öÇàÇß´Ù.
ÄÜÅÃÆ®·»Á Àå½Ã°£ Âø¿ëÇÏ¸é ¼¼±ÕÀÌ ·»Áî Ç¥¸é¿¡ ½±°Ô ºÎÂø, ¹ø½ÄÇÒ ¼ö Àִ ȯ°æÀÌ ¸¸µé¾îÁø´Ù.
Áï ¼¼±Õ¼º °¢¸·¿°°ú °°Àº °¨¿° À§ÇèÀ» Å©°Ô ³ôÀÌ¸ç ¿µ±¸ÀûÀÎ ½Ã·Â »ó½Ç·Î±îÁö À̾îÁú ¼ö ÀÖ´Ù.
¿¬±¸ÆÀÀº ½Ã°£ÀÌ Áö³²¿¡ µû¶ó Ç×±Õ ¼º´ÉÀÌ ¶³¾îÁö°Å³ª ÄÚÆà ÀÚü°¡ µ¶¼ºÀ» ¶ì´Â ±âÁ¸ Ç×±Õ ÄÚÆà ±â¼úÀÇ ÇѰ踦 ±Øº¹Çϱâ À§ÇØ »õ·Î¿î Åõ¸í ³ª³ëÄÚÆà ±â¼ú °³¹ß¿¡ ³ª¼¹´Ù.
¿¬±¸ÆÀÀº Àå±âÀûÀ¸·Î ÈÇÐÀû ¾ÈÀü¼º°ú ±â°èÀû ³»±¸¼ºÀ» °®Ãá Ç×±Õ, ºñµ¶¼º °øÁßÇÕü Çʸ§À» Á¦ÀÛÇØ ÄÜÅÃÆ®·»Áî Ç¥¸é¿¡ Á÷Á¢ Àû¿ëÇß´Ù.
ÀÌ °úÁ¤¿¡¼ ±â»ó °íºÐÀÚ ÁõÂø °øÁ¤(initiated chemical vapor deposition, iCVD)À» »ç¿ëÇØ ±âÁ¸ ¾×»ó ÄÚÆà ¹æ½ÄÀÇ ºñ±ÕÀÏÇÑ ÄÚÆà ¹®Á¦¸¦ ÇØ°á, ÄÜÅÃÆ®·»ÁîÀÇ Åõ¸í¼ºÀ» È¿°úÀûÀ¸·Î À¯ÁöÇß´Ù.
À̾î Ȳ»öÆ÷µµ»ó±¸±Õ, ¸ÞƼ½Ç¸° ³»¼º Ȳ»öÆ÷µµ»ó±¸±Õ, ³ì³ó±Õ µî ¼¼±Õ¼º °¢¸·¿°ÀÇ ÁÖ¿ä ¿øÀαÕÀÇ Ç×±Õ ¼º´ÉÀ» ½ÃÇèÇß´Ù.
¿¬±¸ÆÀÀº 9ÁÖ°£ Ç×±Õ ¼º´ÉÀÌ À¯ÁöµÇ´ÂÁö »ìÇÇ¸ç ¹°¸®Àû ³»±¸¼ºµµ °ËÁõÇß´Ù.
ÀÌ °á°ú, Åõ¸í ³ª³ëÄÚÆÃÀº 99% ÀÌ»óÀÇ Ç×±Õ ¼º´ÉÀ» º¸¿´À¸¸ç À̸¦ 9ÁÖ°£ À¯ÁöÇß´Ù.
ÄÚÆÃÀº ¹Ýº¹ÀûÀ¸·Î ¼¼Ã´ÇÏ´õ¶óµµ Ç×±Õ ¼º´ÉÀ» ÀÒÁö ¾Ê¾ÒÀ¸¸ç, ÄÜÅÃÆ®·»ÁîÀÇ Åõ¸í¼º°ú ½Ã·Â ±³Á¤ ±â´É¿¡ ¿µÇâÀ» ¹ÌÄ¡Áö ¾Ê¾Ò´Ù.
´« °Ç°¿¡ À§Çظ¦ ³¢Ä¡Áö ¾Ê´Â ºñµ¶¼º¿©ºÎµµ È®ÀÎÇß´Ù.
ÀÌ ¿¬±¸´Â ¼¼Ã´ ½Ã Ç×±Õ ¼º´ÉÀÌ ÀúÇϵǴ ±âÁ¸ ÄÚÆà ±â¼úÀÇ ÇѰ踦 ±Øº¹Çß´Ù´Â Á¡¿¡¼ Àǹ̰¡ ÀÖ´Ù.
ƯÈ÷, ¸ÞƼ½Ç¸° ³»¼º Ȳ»öÆ÷µµ»ó±¸±Õ°ú °°Àº Ç×»ýÁ¦ ³»¼º±Õ¿¡ Ç×±Õ ¼º´ÉÀ» ÀÔÁõÇÏ¸ç ¼¼±Õ¼º °¢¸·¿° µî Ä¡¸íÀû Áúȯ ¿¹¹æ¿¡ Áß¿äÇÑ ¿ªÇÒÀ» ÇÒ °ÍÀ¸·Î ±â´ëµÈ´Ù.
Áö ±³¼ö´Â "ÀÌ ¿¬±¸¸¦ ÅëÇØ ÄÜÅÃÆ®·»Áî »ç¿ëÀÚÀÇ ¾ÈÀü¼ºÀ» Å©°Ô Çâ»óÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ±â¼úÀû µµ¾àÀ» ÀÌ·ð´Ù"¸ç "ÇâÈÄ ÄÜÅÃÆ®·»Áî°¡ ¾Æ´Ñ ´Ù¸¥ ÀÇ·á±â±â³ª ºÐ¾ß¿¡¼ ÀÌ ±â¼úÀ» È®Àå Àû¿ëÇÒ ¼ö ÀÖÀ» °ÍÀ¸·Î ±â´ëÇÑ´Ù"¸é¼ "ÀÌ ¿¬±¸¸¦ °è¼Ó ÇÒ °èȹ"À̶ó°í ¹àÇû´Ù.
ÀÌ ¿¬±¸ °á°ú¸¦ »ó¼¼ÇÏ°Ô Á¤¸®ÇÑ ³í¹®Àº ³ª³ë±â¼ú ºÐ¾ß ±¹Á¦ Àú¸í ÇмúÁöÀÎ ‘Small(IF 13.0)’¿¡ °ÔÀçµÆ´Ù.
ÀÌ ¿¬±¸´Â ³ª³ëÁ¾ÇÕ±â¼ú¿ø(¹ÝµµÃ¼°øÁ¤±â¹Ý ³ª³ë¸ÞµðÄà µð¹ÙÀ̽º °³¹ß»ç¾÷), °úÇбâ¼úÁ¤º¸Åë½ÅºÎÀÇ Àç¿øÀ¸·Î °úÇбâ¼ú»ç¾÷ÈÁøÈï¿ø(µö»çÀ̾𽺠â¾÷ È°¼ºÈ Áö¿ø»ç¾÷), Çѱ¹¿¬±¸Àç´ÜÀÇ Áö¿øÀ» ¹Þ¾Æ ¼öÇàµÆ´Ù.